使用范围 　　　质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器和质量流量计 质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。 　　　质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。 1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点 　　　☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。 　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 　　　☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。 　　　☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。 　　　☆可任意角度安装。 　　　☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行测量和计量。 　　　S48 300/HMT数字流量控制器技术指标 编号 项目 S48 300/HMT 1 流量规格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2%-F.S. 6 流量测量范围 0-F.S. 7 响应时间 ≤ 1 sec 8 工作环境温度 5-50℃ 9 精度温度 15-35℃ 10 精度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) 14 耐压 3MPa(G) 15 泄漏率 ＜1×10-8Pa·m3/s(He) 16 接触气体材料 316L，Viton® 氟橡胶，PTFE 17 管路接头 Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ 18 供电电源 ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA 19 设定信号 数字：RS485/RS232 模拟：0 - 5V，输入阻抗＞10kΩ 20 流量输出信号 数字：RS485/RS232 模拟：0 - 5V，负载能力≤3mA 21 通讯接口 数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15 22 重量(kg) 0.9