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主要技术指标
质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准)
L/min （升/分钟）。 (SLM行业标准)
标准状态为：温度----273.15K（0℃）；
气压----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 项目 S49 32/MT
1 流量规格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 准确度 ±1.5%F.S
5 线性 ±1.5%F.S
6 重复精度 ±0.2%F.S
7 响应时间 ≤8秒（T95）
8 工作压差范围 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9 耐压 3MPa; 10MPa
10 工作环境温度 （5～45）℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton?， EPDM， 或其他由用户
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接头 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户
15 输入输出信号 （0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16 供电电源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 130（宽）×102（高）×28（厚）
18 重量kg 0．8
