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主要技术指标
质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min (毫升/分钟) (SCCM行业标准)
标准状态L/min （升/分钟） (SLM行业标准)
标准状态规定为:温度 --- 0℃
气压 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示满量程值
表1 S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 项目 S49 33/MT
1 流量规格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止位置 常闭
4 准确度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
5 线性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6 重复精度 ±0.2 %F.S
7 响应时间 ≤8 s（T95）
8 工作压差范围 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9 耐压 3 MPa ﹑ 10 MPa
10 工作环境温度 5℃ ～ 45℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton?﹑EPDM, 或其他
13 漏率 1×10-8?Pa.m3/s
14 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它
15 输入输出信号 0 V ～ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
16 电源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg 1.2
注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
